1. Micromachined thin-film sensors for SOI-CMOS co-integration
المؤلف: / by J. Laconte, D. Flandre and J.P. Raskin
المکتبة: المكتبة المركزية مركز التوثيق وتزويد المصادر العلمية (أذربایجان الشرقیة)
موضوع: Gas flow,Thin film devices,Silicon-on-insulator technology,Metal oxide semiconductors Complementary
رده :
QC168
.
L33
2006

